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大部分工业制程都可能产生静电荷的积累,轻则使人感到不舒适,重则对人体造成伤害,甚至产生火灾事故。这些静电危害事故的发生一定具有下列发生过程,首先因摩擦、感应或传导等方式产生静电,继之不同极性的电荷蓄积在设备、人员身体或产品上,又电荷不断累积至---造成放电现象,且静电放电所释放的能量,---引燃周围的性物质时,就会造成火灾等---性灾害。了解静电危害形成的每一阶段,就有助于了解造成静电危害的原因,并准备适合的防制对策,达到提高制程现场和工作人员的安全,有效降低静电危害事故及生产损失。
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在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在芯片上,ic尤其是---规模集成电路(vlsi)的成品率会---下降。 ic生产车间操作人员都穿洁净工作服,若人体带静电,则极易吸附尘埃、污物等,若这些尘埃、污物被带到操作现场的话,将影响产品,恶化产品性能、---降低ic成品率。如果吸附的灰尘粒子的半径大于100μm线条宽度约100μm时,薄膜厚度在50μm下时,则易使产品报废。
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静电有很多危害,静电是否也能利用呢?利用静电能给人类造福。大家了解得比较多的是静电复印?现在得到广泛使用。静电除尘,现在很多空气净化器就是利用静电能吸除空气中的很小的尘埃,使空气净化。在农业中,利用静电喷雾能---提高那个效率的使用,既经济又有利环境保护。静电还有很多应用,如静电处理的种子抗病能力强,病害发生减少,而且发芽率高,产量得到提高;静电放电产生的臭氧是强化剂,有很强的杀菌作用;经过静电处理的水,既能杀菌又不易起水垢。
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