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在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在芯片上,ic尤其是---规模集成电路(vlsi)的成品率会---下降。 ic生产车间操作人员都穿洁净工作服,若人体带静电,则极易吸附尘埃、污物等,若这些尘埃、污物被带到操作现场的话,将影响产品,恶化产品性能、---降低ic成品率。如果吸附的灰尘粒子的半径大于100μm线条宽度约100μm时,薄膜厚度在50μm下时,则易使产品报废。
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大部分工业制程都可能产生静电荷的积累,轻则使人感到不舒适,重则对人体造成伤害,甚至产生火灾事故。这些静电危害事故的发生一定具有下列发生过程,首先因摩擦、感应或传导等方式产生静电,继之不同极性的电荷蓄积在设备、人员身体或产品上,又电荷不断累积至---造成放电现象,且静电放电所释放的能量,---引燃周围的性物质时,就会造成火灾等---性灾害。了解静电危害形成的每一阶段,就有助于了解造成静电危害的原因,并准备适合的防制对策,达到提高制程现场和工作人员的安全,有效降低静电危害事故及生产损失。
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离子风咀这是因为气体也是由分子、原子组成,当空气流动时分子、原子也会发生“接触分离”而起电。人体综合电阻:每天检测一次,可用东莞市科园防静电设备有限公司生产的人体综合测试仪、人体综合测试仪、综合测试仪检测。一般在车间入口处检测。“放”,就是要增加湿度,使局部的静电容易释放。室内空气湿度低于30%时,容易产生静电,若将湿度提高到45%,就很难有静电产生了。
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